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以人為本,實(shí)事求是
弘揚工匠精神,建立工匠企業(yè)文化,創(chuàng )造一流企業(yè),驅動(dòng)“恒格制造”走向世界!
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恒格高分子材料
恒格密封產(chǎn)品分類(lèi)三——耐高溫 Excellent Temp Resistance
采用能強化聚合物穩定性且抗高溫的填加物(如石墨等) 最高工作溫度:325度應用:半導體高溫制程,爐管,退火等制程應用位置:中心環(huán)密封,過(guò)濾器密封耐高溫材料物性
恒格密封產(chǎn)品分類(lèi)二——超潔凈 Ultra Clean
采用對制程無(wú)污染、且分子量極小的材質(zhì)作為填加物(如:硅等)優(yōu)點(diǎn):無(wú)固態(tài)生成物應用:干式和濕式半導體工藝應用位置:進(jìn)氣口/孔密封、室內蓋密封、隔離閥密封等超潔凈材料物性
恒格密封產(chǎn)品分類(lèi)一——超強耐腐蝕類(lèi) Low Etch Rate
采用化學(xué)穩定性極高的金屬化合物粉末作為填加物(如硫鋇BaSO4,二氧化鈦TiO2,陶瓷等)優(yōu)點(diǎn):極好的耐等離子腐蝕性能應用:深硅刻蝕設備、AMAT ETCH 裝備的標準配置應用位置:腔體門(mén)板、進(jìn)氣口超強耐腐蝕類(lèi)材料物性
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