以人為本，實(shí)事求是

1、微波系統無(wú)損傳輸至腔體遠端形成等高密度離子體，等離子隨著(zhù)真空泵抽離氣體形成的氣流，均勻流動(dòng)到腔室內，并與加熱的晶圓表面光刻膠均勻反應；2、微波等離子體自偏壓低，等相刻蝕效果好，同時(shí)重型粒子轟擊、濺射和注入效應小，最低限度造成光刻膠去除同時(shí)對基材的損傷。適用在晶圓基各種工藝生產(chǎn)制造中，如集成電路、...